與火花機加工精度相關的因素很多，大致可分為機床因素和非機床因素。世界級品牌機在機床機械精度、脈沖電源精度、伺服控制精度(包括對機械運動、脈沖參數、走絲系統和工作液系統的控制)都已達到極高的水準。高檔機無例外全都采用光柵尺全閉環系統，整機剛性得到普遍重視，而且隨著進給絲杠的加粗，傳動剛度也有大幅度提高。

影響火花機加工精度的機床因素，例如克服機床熱變形方面，用熱平衡、熱對稱、熱隔離等各種措施減小機床熱源和室溫波動對機床幾何精度的影響。普遍用恒溫的工作液冷卻立柱、上下機架、工作臺面、工件，整機用機殼包嚴，形成隔離的小恒溫室。可以說高檔電火花加工機的幾何精度和坐標磨床已完全相當了。說到脈沖電源和伺服控制的精度，可能中國用戶還沒有清楚的概念。所以一些低檔機就可在這方面鉆空子，而品牌機的優勢就在于此。

影響火花機加工精度的非機床因素，例如操作人員的素質，人為的誤操作等現在能用強大的工藝數據庫和智能控制來消除。例如確認輸入數據是否遺漏。但看不見測不了的工件材料內應力誰都沒有辦法考慮，所以加工工件的尺寸和形狀與達到的加工精度---表面輪廓度TKM關系密切。各家所言可達到的加工精度是指對給定尺寸和形狀的樣件切割。例如高40mm，對邊尺寸30mm的六棱柱體樣件，就是指相對名義尺寸30mm的偏差，上中下三個截面共9個數據。注意這里要求的是絕對尺寸，要保證小間隙精密沖模的配合及互換性必須這樣要求。

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